Der Reinraum-Trockenofen der Klasse 100, auch bekannt als Reinraum-Backofen der Klasse 100 oder Reinraum-Trockenschrank der Klasse 100, ist eine spezielle Ausrüstung, die Hochtemperaturtrocknung mit der Kontrolle der Reinraumumgebung verbindet. Durch ein hocheffizientes HEPA-Filtersystem und eine gerichtete Luftstromorganisation erreicht die Arbeitskammer die Sauberkeitsstandards ISO 6 (ehemals Klasse 100). Das Gerät verfügt über einen laminaren vertikalen oder horizontalen Luftstrommodus, bei dem saubere Heißluft durch eine oben montierte FFU-Einheit gefiltert (Filtrationseffizienz ≥99,99 % für 0,3 μm-Partikel) und gleichmäßig über die Arbeitsfläche verteilt wird. Es ist außerdem mit einem automatischen Luftduschen-Reinigungsmodul ausgestattet, um eine schnelle Wiederherstellung der Sauberkeit beim Öffnen der Tür zu gewährleisten. Der Temperaturregelbereich umfasst 50–300 °C mit einer Schwankung von ≤ ±1 °C. Es eignet sich für Trocknungsprozesse, die empfindlich auf Partikelverunreinigungen reagieren, in Präzisionsfertigungsbereichen. Es wird hauptsächlich in den Bereichen Elektronik, integrierte Schaltkreise, Trocknung und Aushärtung von COB-Schwarzkleber, Displays, Chips, LCDs, CMOS, IS und der Pharmaindustrie eingesetzt. Es kann auch für Hochtemperaturtests verwendet werden, die eine hohe Sauberkeit der Umgebung erfordern. Es ist eine unverzichtbare Ausrüstung zum Trocknen, Wärmebehandeln, thermischen Altern, Hochtemperaturtests und Aushärten von Gegenständen in den oben genannten Branchen.
① Eingebaute hocheffiziente HEPA/ULPA-Filter bieten eine Filtereffizienz von bis zu 99,99 % für 1 µm große Partikel und gewährleisten eine kontinuierliche Sauberkeit der ISO-Klasse 5 (Klasse 100) in der Kammer und erfüllen die strengen Anforderungen von Präzisionsprozessen.
② Mithilfe eines fortschrittlichen Fluiddynamikdesigns und Hochleistungsventilatoren wird eine vertikale laminare Strömungszirkulation heißer Luft in der Kammer erreicht, wodurch eine Temperaturgleichmäßigkeit von ≤ ±1,5 °C im Arbeitsbereich gewährleistet wird.
③ Alle Innenwände verfügen über abgerundete Ecken, nahtloses Schweißen und eine Elektropolierbehandlung, wodurch tote Zonen bei der Reinigung und das Risiko einer Partikelansammlung grundsätzlich eliminiert werden und die Prozessreinheit gewährleistet wird.
④ Ausgestattet mit einem Farb-Touchscreen und einer programmierbaren SPS-Steuerung mit mehreren Segmenten ermöglicht es die präzise Einstellung von Heiz-, Konstanttemperatur- und Kühlkurven und ermöglicht so eine vollständige Automatisierung und Datenrückverfolgbarkeit für komplexe Prozesse.
⑤ Die Kernkammer besteht typischerweise aus gebürstetem Edelstahl SUS304 und verfügt über eine ausgezeichnete Hochtemperatur- und Korrosionsbeständigkeit, die sich besonders für empfindliche Prozesse wie Halbleiter und Fotolacke eignet.
⑥ Bestehend aus einem hochtemperaturbeständigen Radialventilator und einem präzisen Luftführungssystem sorgt es für eine schnelle und gleichmäßige Wärmeübertragung auf jede Oberfläche des Materials und verbessert so die Trocknungseffizienz und -konsistenz erheblich.
⑦ Durch die Verwendung doppelter Dichtungsstreifen aus Silikonkautschuk oder Fluorkautschuk und ergänzt durch eine pneumatische Verriegelungsvorrichtung wird das Eindringen verunreinigter Luft von außen wirksam isoliert und gleichzeitig die Stabilität der internen Prozessatmosphäre gewährleistet.
⑧ Integrierte mehrere Hardware- und Software-Sicherheitsschaltungen, einschließlich Übertemperaturschutz, Überstromschutz, Lüfterverriegelung und Auslaufschutz, bieten robusten Schutz für den langfristig stabilen Betrieb der Geräte und Produkte.
⑨ Durch das Hochglanzpolieren der Innenkammer und die Hochtemperatur-Dekontaminationsbehandlung werden flüchtige organische Verbindungen, die das Gerät während des Hochtemperaturbetriebs erzeugen kann, erheblich reduziert.
⑩ Durch den Einsatz leistungsstarker Isoliermaterialien und einer optimierten Heizungsanordnung in Kombination mit einem adaptiven PID-Leistungsanpassungsalgorithmus wird eine schnelle Erwärmung und präzise Temperaturregelung erreicht und gleichzeitig der Energieverbrauch effektiv gesenkt.
⑪ Optional sind Stickstoff- oder andere Inertgasschnittstellen und ein Kammer-Mikroüberdruckkontrollsystem erhältlich, um eine hervorragende sauerstofffreie Trocknungsumgebung für Prozesse zu schaffen, die empfindlich auf Sauerstoff oder Feuchtigkeit reagieren.
⑫ Kernmodule wie Filter, Lüfter und Heizungen verfügen über standardisierte und schnell lösbare Strukturen, was die täglichen Wartungs-, Reinigungs- und Ersatzteilaustauschprozesse erheblich vereinfacht und Ausfallzeiten reduziert. ⑬ Unabhängige Kammerumgebung und effizientes Filtersystem verhindern wirksam Kreuzkontaminationen zwischen verschiedenen Materialchargen und eignen sich daher besonders für Forschung und Entwicklung sowie die Produktion mehrerer Sorten und kleiner Chargen.
⑭ Aufgrund seiner hervorragenden Reinheits- und Temperaturkontrollleistung eignet es sich perfekt für hochmoderne Bereiche in High-Tech-Branchen wie der Herstellung von Halbleiterchips, MEMS-Verpackungen, Biopharmazeutika und Präzisionsoptik.
⑮ Garantierter Kundendienst: Ein umfassendes Kundendienstnetz, das die meisten Teile des Landes abdeckt, gewährleistet eine sorgenfreie Nutzung für Benutzer (Hinweis: mit Ausnahme einiger weniger abgelegener Städte und Dörfer);
⑯Technische Support-Lösungen: Bietet vielfältige technische Anleitungen, einschließlich Video-, Telefon- und Online-Video-Tutorials, die intuitiv die Geräteleistung und Betriebsmethoden demonstrieren, um Benutzern eine schnelle Beherrschung der Geräte zu erleichtern.
① Außenschalenmaterial: Hergestellt aus ausgewählter, hochwertiger kaltgewalzter Stahlplatte (Q235), präzisionsgeformt mit CNC-Technologie. Die Oberfläche ist mit einer Phosphatierung und einer antistatischen Pulverbeschichtung versehen, was zu einer robusten Hülle führt. Es ist antistatisch, korrosionsbeständig und kratzfest und gewährleistet so eine langlebige Qualität;
② Arbeitskammer: Hergestellt aus verdicktem Edelstahl SUS304, mit ausgezeichneter Hochtemperaturstabilität und Korrosionsbeständigkeit, mit glatter Oberfläche für einfache Reinigung;
③ Bedienfeld: High-End-Farbbildschirm-Controller, der wichtige Daten wie Temperatur und Zeit in Echtzeit mit hoher Genauigkeit anzeigt. Verfügt über intelligente Fehlerdiagnose- und Alarmfunktionen, die eine intuitive Mensch-Maschine-Interaktion und vollständige Kontrolle auf Knopfdruck ermöglichen;
④ Zirkulationssystem: Nutzt einen leistungsstarken Turbinenventilator und ein wissenschaftliches Luftstromdesign, um eine Hochgeschwindigkeits-Heißluftzirkulation zu erreichen, eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit in der Arbeitskammer zu gewährleisten, örtliche Überhitzung zu verhindern und die Trocknungseffizienz und Verarbeitungskonsistenz deutlich zu verbessern;
⑤ Ausgestattet mit mehreren Sicherheitsmechanismen wie Übertemperaturschutz und Überlastschutz, die einen langfristig stabilen Betrieb gewährleisten und für den Hochfrequenzeinsatz in der Forschung geeignet sind;
⑥ Isolierschicht: Der Raum zwischen der Außenhülle und der Arbeitskammer ist mit 75 mm dicker, hochreiner Keramikfaser-Baumwolle (Al₂O₃) gefüllt, was eine hervorragende Wärmeisolierung bietet, den Wärmeverlust erheblich reduziert, eine konstante Temperatur gewährleistet und eine hohe Energieeffizienz erreicht;
⑦ Türdichtung: Hält thermischer oxidativer Alterung über einen langen Zeitraum stand, behält Elastizität und Dichtungsintegrität bei, verhindert effektiv Wärmeverluste und gewährleistet die Stabilität der Arbeitskammertemperatur;
⑧ Heizrohr: Hergestellt aus Edelstahl und hochbeständigem elektrischem Heizlegierungsdraht mit einem thermischen Wirkungsgrad von über 95 %. Das integrierte Design bietet eine gute Isolierung, Korrosionsbeständigkeit und Oxidationsbeständigkeit, eignet sich für hohe Temperaturen, feuchte und korrosive Industrieumgebungen und gewährleistet eine lange Lebensdauer und stabile Leistung;
⑨ Regale: Die Standardkonfiguration umfasst hochkorrosionsbeständige, verchromte Gitterregale mit Oberflächenhärtungsbehandlung, die Oxidationsbeständigkeit, Säure- und Alkalibeständigkeit sowie stabile Tragfähigkeit bieten; unterstützt die flexible Anpassung verschiedener Materialien und Lochtypen, einschließlich Edelstahl, Legierung und Teflon, und passt perfekt zu anspruchsvollen Anwendungen in der Pharmazie, Elektronik und wissenschaftlichen Forschung und bietet präzise und zuverlässige tragende Lösungen für High-End-Trocknungsprozesse.
⑩ Einige Modelle mit großer Kapazität sind mit leistungsstarken, leisen Universalrädern ausgestattet, die flexible Bewegung mit stabiler Positionierung kombinieren. Sie eignen sich für Präzisionslabore und anspruchsvolle Industrieumgebungen und zeichnen sich durch detaillierte Technologie und benutzerfreundliches Design aus.
① Durch die Verwendung fortschrittlicher PID-Algorithmen und programmierbarer Mehrsegmentsteuerungen können komplexe Heiz-, Konstanttemperatur- und Kühlkurven präzise eingestellt und automatisch ausgeführt werden. Programmmodus und Festwertmodus können frei umgeschaltet werden, was die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit des Prozesses gewährleistet.
② Ausgestattet mit einem großen hochauflösenden Touchscreen, der ein intuitives grafisches Bedienerlebnis, eine dynamische Echtzeitanzeige aller Betriebsparameter, des Gerätestatus und Echtzeitkurven bietet und so den Bedienungsprozess vereinfacht.
③ Integrierte Mehrpunkt-Temperatursensoren und erweiterbar mit Luftdruck- und Taupunkt-(Feuchtigkeits-)Überwachungsmodulen, die eine umfassende Echtzeitüberwachung der Innenumgebung der Kammer ermöglichen, um stabile Prozessbedingungen sicherzustellen.
④ Echtzeitüberwachung des Lüfterbetriebs und des hocheffizienten Filterstatus, gekoppelt mit dem Heizsystem, sorgt für eine stabile Luftzirkulation und die Aufrechterhaltung der Sauberkeit der Klasse 100, um eine Partikelverunreinigung zu verhindern.
⑤ Optionaler Massendurchflussregler (MFC) und Mikroüberdruck-Kontrollsystem zur präzisen Steuerung der Durchflussrate von Inertgasen wie Stickstoff und des Drucks in der Kammer, wodurch eine Schutzatmosphäre für empfindliche Prozesse bereitgestellt wird.
⑥ Eingebauter Speicherchip mit großer Kapazität, der automatisch alle Prozessparameter, Kurven und Alarmereignisse aufzeichnet und Datenexport und Prüfprotokolle unterstützt, um strenge Qualitätsmanagementstandards zu erfüllen.
⑦ Integrierter unabhängiger Übertemperaturschutz, Auslaufschutz, Lüfterüberlastschutz sowie Türverriegelungsschalter und andere Hardware-Schaltkreise, wodurch eine mehrschichtige Sicherheitsbarriere entsteht, die Hardware und Software kombiniert.
⑧ Standardkonfiguration mit Ethernet- und RS-485-Kommunikationsschnittstellen, die Fernüberwachung und Datenerfassung unterstützt, die Integration in Fabrik-MES-Systeme ermöglicht und den Grundstein für intelligente Fabriken legt.
⑨ Unterstützt mehrstufige Kennwortberechtigungseinstellungen, die zwischen Administrator- und Bedienerrechten unterscheiden, wodurch unbefugte Parameteränderungen wirksam verhindert und die Sicherheit der Kernprozessrezepte und des Gerätebetriebs gewährleistet werden.
⑩ Verfügt über eine umfassende Selbsttestfunktion des Systems, die abnormale Zustände in Echtzeit diagnostizieren und genau lokalisieren kann, akustische und visuelle Alarme ausgibt und Fehlerinformationen anzeigt, was die Wartungseffizienz erheblich verbessert.
| Modell | DEP-185HD | DEP-275HD | DEP-485HD | DEP-985HD |
| Controller | Integrierte SPS (100 Gruppen / 100 Segmente pro Gruppe) | |||
| Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) | 7-Zoll-Touchscreen | |||
| Sauberkeitsklasse | Klasse 100 | |||
| Temperaturbereich | RT 10～250℃ | |||
| Temperaturgleichmäßigkeit | ±2,5 %℃ | |||
| Temperaturschwankungen | ≤±1℃ | |||
| Kammerpartikelkonzentration | 1um≤8320pc/m³ | |||
| Timer-Bereich | 0~9999min | |||
| Filtern | H14 Hochtemperatur-HEPA-Filter | |||
| Zugangskontrollsystem | Elektromagnetische Verriegelung (Interlock) | |||
| Filtern Dimensions (mm) | 480x350x90 | |||
| Bewerteter Luftstrom | 650m³/h | |||
| Kammerabmessungen (mm) | 600x500x600 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 1000*700*1400 |
| Außenmaße (mm) | 965x1240x1510 | 965x1240x1810 | 1290x965x1790 | 1950x1055x1790 |
| Lautstärke | 180L | 270L | 480L | 980L |
| Stromversorgung | AC220V/18A | 220V/20A | 380V/18A | 380V/30A |
| Nennleistung | 3,5 kW | 4KW | 6KW | 9KW |
| Bruttogewicht / Nettogewicht | 300/255 kg | 350/320 kg | 490/450 kg | 810/730 kg |
| Standardregale | 2 | |||
| Betriebsumgebung | 0~45℃ | |||
| Nein. | Name | Parameter | Referenzfoto |
| 1 | Massendurchflussregler | ① 0~30 l/min | |
| 2 | Unabhängiger Übertemperaturbegrenzer | ① Sekundärer Schutz gegen Temperaturüberschreitung und -durchgehen | |
| 3 | Eingebauter Drucker | ① Echtzeitdruck | |
| 4 | Testport | ① Material: Edelstahl-Bakelit | |
| 5 | Mehrpunkt-Temperaturrekorder | ① 6 Kanäle | |
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