Anoxischer Trockenofen der Korrosionsbeständigkeitsklasse 100

① Verwendet einen hochpräzisen Sauerstoffkonzentrationssensor und ein automatisches Gasaustauschsystem, um den Sauerstoffgehalt in der Kammer auf einem extrem niedrigen Niveau (z. B. <100 ppm) zu halten und so eine Materialoxidation grundsätzlich zu verhindern.
② Verlässt sich auf ein fortschrittliches Fluiddynamik-Design und ein hocheffizientes Heißluftzirkulationssystem, um sicherzustellen, dass die Temperaturschwankungen im Arbeitsbereich ≤ ±1℃ betragen, was eine gleichbleibende Chargenverarbeitung gewährleistet.
③ Kann hocheffiziente HEPA- oder ULPA-Filter integrieren (optionale Konfiguration), die eine sauerstoffarme Umgebung bieten und gleichzeitig eine Reinheitsklasse 100 erreichen, wodurch die Prozessanforderungen für ultrahohe Reinheit von Halbleitern, optoelektronischen Materialien usw. erfüllt werden.
④ Der integrierte Massendurchflussregler (MFC) ermöglicht eine präzise programmierbare Steuerung und Echtzeitüberwachung des Durchflusses und Drucks von Inertgasen wie Stickstoff und Argon und ermöglicht so die Rückverfolgbarkeit des Prozesses.
⑤ Die Innenkammer besteht aus Edelstahl SUS304 mit gebürsteter Oberfläche und vollumfänglicher Schweißung, kombiniert mit doppelten Silikondichtungen und pneumatischer Verriegelung, was extrem niedrige Leckage- und Ausgasungsraten gewährleistet.
⑥ Integriert mehrere Hardware- und Software-Sicherheitsverriegelungen, einschließlich Sauerstoffkonzentrationsüberschreitungen, Übertemperatur, abnormalem Druck und Wiederherstellung nach Stromausfall, und bietet so robusten Schutz für empfindliche Prozesse und die Ausrüstung selbst.
⑦ Ausgestattet mit einem großen Farb-Touchscreen und einer programmierbaren Multisegment-Steuerung, die es Benutzern ermöglicht, alle Prozessparameter intuitiv einzustellen und zu überwachen und so eine einfache Bedienung und vollständige Datenaufzeichnung zu gewährleisten.
⑧ Die Kernkomponenten bestehen aus hochtemperatur- und korrosionsbeständigen Spezialmaterialien, die einen langfristig stabilen Betrieb unter Hochtemperaturbedingungen und Beständigkeit gegen korrosive Atmosphären ermöglichen, die während des Prozesses entstehen können.
⑨ Verwendet Hochleistungsisolationsmaterialien und einen adaptiven PID-Heizungssteuerungsalgorithmus, um Wärmeverluste zu minimieren, eine schnelle Erwärmung und präzise Temperaturregelung zu erreichen und den Energieverbrauch effektiv zu senken.
⑩ Ein integrierter Datenlogger kann eine große Menge an Prozesskurven und Ereignisprotokollen speichern und ist standardmäßig mit Ethernet- oder RS-485-Schnittstellen für eine einfache Fernüberwachung und Integration in übergeordnete Systeme ausgestattet.
⑪ Schlüsselkomponenten wie Sensoren, Heizungen und Dichtungen sind modular aufgebaut und ermöglichen eine schnelle Demontage und einen schnellen Austausch, wodurch Wartungszyklen und Ausfallzeiten erheblich verkürzt werden.
⑫ Durch strenge Innenkammerbehandlungs- und Entgasungsprozesse setzt das Gerät selbst in einer sauerstofffreien Hochtemperaturumgebung nahezu keine flüchtigen Schadstoffe frei und gewährleistet so die intrinsischen Eigenschaften der Materialien. Aufgrund seiner außergewöhnlichen Sauberkeit und Temperaturkontrollleistung eignet es sich perfekt für Spitzenbereiche in High-Tech-Branchen wie der Halbleiterchip-Herstellung, MEMS-Verpackung, Biopharmazeutika und Präzisionsoptik.
⑬ Garantierter After-Sales-Service: Wir bieten ein umfassendes After-Sales-Service-Netzwerk, das die meisten Gebiete des Landes abdeckt und unseren Kunden eine sorgenfreie Nutzung gewährleistet (Hinweis: mit Ausnahme einiger weniger abgelegener Städte und Dörfer);
⑭ Technische Support-Lösungen: Wir bieten vielfältige technische Anleitungen durch Videos, Telefonsupport und Online-Video-Tutorials und demonstrieren intuitiv die Geräteleistung und Betriebsmethoden, damit Benutzer sich schnell mit den Geräten vertraut machen können.